용어 개요
가스 밸러스트 진공 펌프, gas ballast vacuum pump:적당량의 기체를 압축과정에서 펌프 내에 도입하고 펌프 내부에서 응축성 기체가 응축하지 않도록 한 용적이송식의 펌프
용적 이송식 진공펌프:건식 회전(진공)펌프, dry-sealed vacuum pump:기름이나 액체를 사용하지 않고 기밀을 유지한 용적 이송식 진공펌프.
운동량 수송식 진공펌프, kinetic vacuum pump:기체에 특정 방향의 운동량을 주어서 연속적으로 기체를 운송하는 진공펌프. 유체작동 방식과 기계적 방식의 2 가지로 대별한다.
터보(형) 진공펌프, turbine vacuum pump:고속 회전하는 로터로 대량의 기체를 수송 하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성류 영역에서 유효하게 작동한다.
진공 압력계
압력계 pressure gauge:기체,증기의 압력을 측정하는 계기.진공게이지 vacuum gauge:기체,증기의 대기압보다 낮은 압력을 측정하는 계기.대부분의 경우, 측정자와 제어 계측부로 구성된다. 특정조건 하에서 압력에 관련된 다른 물리량을 측정하는 것이 많다.측정자, gauge head:진공계에서 감압기능을 갖추고 진공계에 부착되는 진공계의 구성부품.
나진동계(측정자), nude gauge :측정자에 직접 삽입되는 감압소자를 갖춘 외위기가 없는 측정자.
제어 계측부, gauge control unit:축정자를 작동시켜 계측하는 진공계의 구성 부품.
절대 진공계, absolute vacuum gauge.다른 진공계를 참조하지 않고 또 기체의 종류에 관계
없이 물리량의 측정만으로 압력이 구해지는 진공계.
차압 진공계, differential vacuum gauge:가요막 도는 액기둥과 같은 압력차를 감지하는 격리매체를 이용하여 그 양쪽에 걸리는 압력차를 측정하는액주차 진공계, liquid level manometer =격리 매체로서 액기둥을 이용하는 차압 진공계.
U 자판 진공계, U tube manometer.U 자판을 이용하는 액주차 진공계.
탕성 진공계, elastic element gauge:탕성체(판, 관 등)를 격리매체로 한 차압 진공계.격막 진공계, diaphragm gauge:가요 격막을 이용하여 압력공간을 구분하는 탄성진공계.부르동관 진공계, Bourdon gauge:가요 격막으로서 부르동관을 사용하는 탄성 진공계.압축 진공계, compression gauge:기체를 이미 알고 있는 비율로 압축하고 그 압력을 측정하여 압축 전의 압력을 구하는 진공계. 비고,보일의 법칙을 적용할 수 있는 경우에만 사용한다.
맥로드 진공계, Mcleod gauge:수은주를 이동함으로써 기체를 압축하여 그 기체의 압력을 액주차에 의해 구하는 압축 진공계. 점성 진공계, viscosity gauge:저압 기체의 점성력이 기체의 압력에 의존하는 것을 이용하여 물체 표면에 작용하는 점성력의 변화를 계축하여 압력을 구하는 진공계 열전도 진공계, thermal conductivity gauge 저압 기체의 열전도가 기체의 압력에 의존하는 것 을 이용하여 소자의 온도변화를 계측하여 압력을 구하는 진공계.
피라니 진공계, Pirani gauge:가열되어 있는 소자가 금속 가는 선이며 그 전기저항이 온도에 따라 변화하는 것을 이용하는 열전도진공계.써미스터 진공계, thermister gauge:가열되어 있는 소자가 써미스터이며 그 전기저항이 온도에 따라 변화하는 것을 이용하는 열전도진공계.
크누센 진공계, Knudsen gauge:기체분자의 평균 자유행정에 비하여 아주 작은 간격을 유지하며 배치되고 또한 다른 온도로 유지되고 있는 2 면 사이에서의 운동량 수송속도를 측정함으로써 압력을 구하는 진공계.
전리 진공계, ionization vacuum gauge:전리에 의해 기체 중에서 생성된 이온 전류를 측정하여 압력을 구하는 진공계,
냉음극 전리진공계, cold cathode ionization gauge:냉음극 방전에 의한 기체의 전리를 이용하는 전리진공계.페닝 진공계, Penning gauge:한 쌍의 평행 평판 음극사이에 고리모양 양극을 놓고 그들 측에 평행으로 자계를 거는 냉음극 전리진공계.
냉음극 마그네트론 진공계, cold cathode magnetron:분자 펌프, molecular drag pump:고속회전하는 로터에 의해 그 표면에 충돌한 기체 분자에 운동량을 주어서 기체를 수송하는 운동량 수송식 진공 펌프. 분자류 영역에서 유효하게 작동한다.
터보 분자펌프, turbo molecular pump:축류 터빈형 날개를 가진 로터 및 스테이터로 이루어진 분자펌프.이젝터 (진공)펌프, ejector vacuum pump:고속으로 분출하는 작동유체의 소용돌이 작용에 의해기체를 수송하는 운동량 수송식 진공펌프. 점성류 또는 중간류 영역에서 유효하게 작동한다.기체의 표준상태, standard reference conditions for gases:기체론에서 기체의 표준조건을 주는 것으로서 온도 0℃, 압력 101,325 Pa (1 기압 = 760mmHg )의 상태.
진공, vacuum:통상의 대기압보다 낮은 압력의 기체로 채워진 공간 내의 상태.저진공, low ( rough ) vacuum( LV ) 압력 100 Pa 이상인 진공.중진공, medium vacuum( MV )=압력 100 ∼ 0.1 Pa 인 진공.고진공, high vacuum ( HV )=압력 0.1 ∼ 10 –5 Pa 인 진공.초고진공, ultra high vacuum ( UHV )=압력 10 –5∼ 10 –8 Pa 인 진공.극고진공, extreme ultrahigh vacuum ( XHV ) 압력 10 –8 Pa 이하인 진공
압력
압력, pressure:공간 내의 어떤 점을 포함하는 가상의 극히 작은 평면을 양쪽 방향에서 통과하는 분자에 의해 단위면적당, 단위시간에 수송되는 운동량의 면에 수직인 성분의 총합. 공간 내에 정상적인 기체의 흐름이 있을 때는 흐름 방향에 대하여 면의 기울기를 규정 한다. 양기호: p , P, 단위기호 Pa.
파스칼 pascal:국제 단위계의 압력단위 명칭.기호 Pa, 1 Pa = 1 N·m- 2토르, Torr 1 표준기압(101325 Pa )의 760 분의 1 1 Torr = 133.322 Pa
부분압, partial pressure:혼합기체 중의 특정 성분의 압력.양기호:성분 i 에 관하여는 pi. 단위기호: Pa.
전체압, total pressure:전압 라고도 함. 혼합기체 중 전체 성분 분압의총합. 양기호: p, P, 단위기호 Pa.기체, gas 겉보기 상, 분자가 분자 사이의 힘에 의하여 운동 의 제한을 받지 않고 공간을 자유롭게 채울 수 있는 상태에 있는 물질.
비고: 진공기술, 진공공업에서는 기체라는 말은 비응축성 기체 및 증기의 양쪽을 나타낸다.비응축성 기체, non- condensable gas:온도가 그 물질의 임계온도 이상이 되어 있고 압력의 증가만으로는 응축상으로 변화시킬 수 없는 기체.
증기, vapour, vapor (USA):온도가 그 물질이의 임계온도 이하로 되어 있고 압력의 증가만으로 응축상으로 변화시킬 수 있는 기체.
포화 증기압, saturation vapour pressure:그 온도에서 응축성과 열역학적 평행에 도달되어 있는 증기가 나타내는 압력. 양기호 PL, 단위기호 Pa.포화도, degree of saturation:어떤 온도에서 증기의 압력과 그 포화 증기압의 비,
포화 증기, saturated vapour:어떤 온도에서 포화 증기압과 같은 압력을 나타내는증기 .불포화 증기: unsaturated vapour=어떤 온도에서 포화 증기압보다 낮은 압력을 나타내는 증기.
기체분자 밀도, number density of molecules:기체분자의 단위체적당 수. 양기호:n, 단위기호m-3.
평균 자유행정, mean free path:기체(일반적으로는 입자의 집합계) 속을 자유롭게
움직이며 돌아다니는 입자(분자, 원자, 전자, 이온,중성자, 등)가 동종 또는 이종입자와 차례로 충돌하는경우, 계속하여 충돌하는 사이에 입자가 비행한 거리의 평균. 양기호: λ ,l, 단위기호: m.
충돌빈도, collision rate:기체 속을 자유롭게 움직이며 돌아다니는 입자가 단위 시간에 받는 충돌의 평균 횟수.양기호: φ , 단위기호: s-1.체적 충돌빈도, volume collision rate=기체 속에서 일어나는 입자간 충돌의 단위시간,단위체적당 평균 횟수. 양기호: χ , 단위기호: m-3⋅s-1.pV 값, quantity of gas 기체의 체적과 압력의 곱. 단위기호: Pa⋅m3
입사빈도, impingement rate=표면의 단위 면적 당 단위시간에 입사하는 분자의 수.양기호: υ ,Γ , 단위기호: m-2·s-1.
입사속도, impingement rate:표면의 단위 면적 당 단위시간에 입사하는 물질의 양.응축속도, condensation rate:표면의 단위면적 당 단위시간에 응축하는 분자의 수,또는 물질의 양: 응축계수, condensation coefficient
응축속도와 입사빈도 또는 입사속도의 비. 무차원량이다. 양기호: c.
부착속도, sticking rate:표면의 단위면적 당 단위시간에 화학흡착되는 분자의수 또는 물질의 양.
부착확률, sticking probability :부착속도와 입사빈도 또는 입사속도와의 비. 무차원량이다. 양기호: s.
확산, diffusion:기체가 매질 중에서 농도 구배에 따라 이동하는 것.비고 매질은 다른 기체( 이 경우를 상호확산 이라한다 ) 또는 웅축상 이다.
확산 계수, diffusion coefficient, diffusivity:확산의 분자유량 밀도를 밀도의 구배로 나눈 값.양기호: D, 단위기호: m2⋅s-1.
점성류, viscous flow:기체분자의 평균 자유행정이 도관의 치수보다도 충분히 작을 경우에 일어나는 도관 내의 흐름.비고 흐름은 기체의 점성에 의존하여 층류 또는 난류로 된다.
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